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捷克stroza硅锭钻孔晶核设备工作原理及参数

  • 发布日期:2022-06-14      浏览次数:2876
    • 企业介绍: 1998 年今天开始的地方。由于客户对实施所提议的解决方案的兴趣,一位自由设计师开始组建一家不仅能够设计而且能够实施整个机械的公司。自 2005 年以来,我们一直在自己的建筑中运营,我们已经涵盖了自动化所需的所有专业,并且我们拥有自己的生产机器。2012年,我们购买并改造了原纺织厂的大楼,成为我们现在的总部和进一步发展的地方。

      捷克stroza硅锭钻孔晶核设备应用:汽车
      化学
      电工学
      半导体
      工程
      研究
      保健和药学


      产品:硅锭钻孔晶核设备 化学蚀刻线| 电线装载自动化 于计谨和定向套 筒和舱|长度测量设备疗产品生产设备| Epifuse自动组装 DS 1000配电系统
      加酸站
      自动倒管机千伏线
      钢锭清洗化学生产线
      压测试仪蚀刻硅 板的化学线EBR化学品分配系统 自动逻辑球罩组件

      捷克stroza硅锭钻孔晶核设备产品型号:
      50950
      50700
      50120
      50100

      捷克stroza硅锭钻孔晶核设备产品描述:
      该设备设计为用于蚀刻硅板的单用途自动箱。硅板的蚀刻和漂洗周期根据所选参数*自动化,操作人员只需执行输入材料的补充、产品的取出和工艺参数的选择。该盒子专为两个六英寸的篮子或一个八英寸的篮子而设计。使用的材料符合 FM 4910 标准。
      工艺槽(后部)专为化学混合物而设计。化学品通过循环回路。泵从溢流边缘吸入浴缸,并通过流动加热器将其返回浴缸底部。
      冲洗槽(前)充满底部填料。为了更地冲洗 Si 板,将氮气供应到浴槽底部,从而导致 DEMI 水循环。快速排放由一对所谓的快速排放 (QD) 提供,它们是盘式气动阀。

      捷克stroza硅锭钻孔晶核设备产品属性
      这个盒子是为两个六英寸的篮子设计的或者一个八英寸的。所用材料符合FM 4910标准。工艺槽(后)设计用于化学混合物。化学物质通过通过电路。泵从溢流边缘吸入锡槽,并将锡槽吸入通过流量加热器返回槽底。冲洗槽(前)充满下部填料。实现更的清洗硅板被送入槽底部的氮气中导致除盐水循环。快速启动由该对提供所谓的快速倾卸阀(QD),为盘式气动阀。
      •该设备设计用于半导体生产的洁净区域。
      •该装置的底座为箱形骨架,可实现支撑结构的功能保护环境免受骨架内部危险因素的影响。
      •骨架由TAKIRON材料制成。
      •在骨架的处理部分,有一个带铰链盖的透明盖(PVC玻璃)。
      •工艺和冲洗槽安装在骨架的工艺部分。
      •其下方空间用于收集和排放冲洗水。
      •如果排水管堵塞,应保护集水区
      洪水浮子传感器。
      •PVDF材料制成的后蚀刻槽的填充体积:55升(槽体积)
      +3升(循环回路的体积)
      •液位测量
      •带隔膜泵和流量加热器的循环回路
      -槽溢流边缘的抽吸
      -通过穿孔底部在浴槽底部挤压
      -循环回路流量调节
      -将除盐水泵入循环回路
      •流动加热器加热和循环
      •独立测量熔池温度的热电偶。它还用作
      超限报警元件槽的高允许温度。
      •由PVDF材料制成的前冲洗槽的填充体积为45升
      •使用一对快速排放阀快速排放
      •低液位传感器(浴缸排水)
      •通过氮气鼓泡(钻孔底部)提高冲洗效率
      带气泡强度控制
      •在清洗槽更换期间,一对淋浴器浸泡硅片
      •每个淋浴器允许独立的流量控制
      •搬运带有硅板托盘的搬运篮的机械手
      •带计量的伺服电机(系统知道其位置)即使在断电后)
      •在盒子的背面有一个布线空间和化学空间
      带液压元件。
      基本技术数据
      长度:880 mm
      宽度:1290 mm
      高度:2230 mm
      重量:270 kg
      电源:3 NPE 400/230V AC 50Hz TN-S


    联系方式
    • 电话

      86-0411-87187730

    • 传真

      86-0411-87317760

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